广州某半导体行业心片打造厂，晶圆鑫霖环保全过程中制造含硅、氟的异常电镀废水整理方式 ，构思整理占比1200吨/日。电镀废水整理方式 含量有难度，含奈米级硅颗粒剂及氢佛酸，一般整理方式 无发不合格。 电镀废水材质及因素 主要是水排放物 ：氢氧化铁硅（100-500nm粒级）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 由来多种工序 ：晶圆刻蚀电镀电镀废水（45%）、CMP催化机械化增加光泽电镀电镀废水（40%）、生产设备清洗道路水（15%） 操作工艺技术流程步骤 自主创新分为"催化沉淀物中+特种车膜分离处理"能力自驾路线： 钙盐奠定 ：加药系统氯化钙弄掉氟铝离子（形成CaF2沉积） 斜管沉淀池生理反应 ：塑料二沉池剂保证 固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔直径膜挤占微细颗粒物 反渗透膜工作会更软件系统 ：脱盐率>98%，回笼率75% 挥发析出 ：浓水段完成氟化物无废气排放口 从而的效果 氟化物密度：<8mg/L（达不到国考试内容一级规格10mg/L） 硅含铁：<5mg/L 水資源工业废水处理率：70%使用于闭式密闭式冷却塔塔保湿 危废处理减量化：蒸发掉沉渣量较傳統工序抑制60%