某半导体行业生产加工客户因晶圆拆洗步骤引发含氨污水,发电量200吨/天。污池里除化学需氧量外还内含氟化物和少量天价属,工作难易大。当地城市排放出条件规定化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
电镀废水材料及种类
晶圆洗掉污水(主耍特征):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺程序废水处理工艺:含进样器铜、镍等巨资属,pH值起伏大
CMP粉磨废渣:含硅粉末及氟化物
解决方法步骤
用于"耐腐蚀沉淀自己+膜脱离+折点氯化"组装施工工艺:
预整理
:添加CaCl2除氟,把握pH在7.5-8.
反渗透装置操作系统
:除去0.01μm这些颗粒剂物
反渗透装置性精提
:将高锰酸盐指数萃取至1000mg/L大于
折点氯化
:精确度高操作氯添加量,将氟化物导出为离氮气
铁离子互转
:切实保障高价属考核标准
终极体验
高锰酸盐指数安全稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属含水量不超加测限
水使用率达75%
淤泥造成量极大减少40%