某半导体电子器件电子器件生产厂在晶圆生产工作中,选择硅烷开始硅概念萌发,废气洗洁塔发生高溶度含硅废气。废气有pH动荡大(2-11)、硅纯度高的特别,传统式整理手段易显现硅垢阻塞的问题。
化工废水化学物质及从何而来
废水处理工艺基本材质为:
融化性硅酸盐
:SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L
氢防氧化钾/氢防氧化钠
:洗洁塔酸碱度洗洁液杂质
粒状硅
:nm级SiO₂固体
痕量砷
:原辅材料残渣融入
治理施工工艺步奏
自主创新主要采用"二级中合+膜滤出+蒸馏析出"鑫霖环保:
特级采和
:用CaO调节器pH至4-5,提取硅酸钙沉淀出的,硅弄掉率60%。
下级结合
:加Na₂CO₃将pH优化至9,进第一步沉淀自己剩下硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透装置设计
:0.02μm陶瓷制品膜过滤装置奈米级硅颗料,通量平稳在80LMH。
MVR化掉器
:沉淀高盐焦化废水,凝结出Na₂SO₄副货品,水回收率超90%。
最中目的
总硅从1500mg/L降下来5mg/L这
砷占比从0.8mg/L降为0.01mg/L
模式无积垢自动运行以上2年
第二年的回收利用磷酸钠结晶约800吨