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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆制造技术厂靠近华东各地各地,一般制造制造89英寸半导体芯片晶圆,平均污废水 排污量约800吨。主要是因为制造制造的过程 中运行很大盐酸做晶圆蚀刻,以至于污废水 中氟化物浓度值高达模型200-300mg/L,远超的国家排污要求(10mg/L以上)。 污废水 化学物质及主要来源 生活污水具体源于5个过程: 晶圆蚀刻流程 :含高氨水浓度氟化物(HF)、硝酸钠及大量高价属 生物学机械制造增加光泽(CMP)废液 :含纳米技术级硅粒状、有机会络合剂 设施家电清洗废液 :含异丙醇、高锰酸盐指数等设计物 整理技艺步骤流程 主要包括"物理滤渣+混泥土滤渣+长度滤过"三级视频正确处理体统: 五级解决 :加药氯化钙和氢硫化钙,出现氟化钙凝固,氟化物快速清理率达85% 中级治理 :调用PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),出掉电解质溶液态被污染物质 三级考试处理 :经由多有机溶剂过虑器和活力炭吸附剂,冒水氟化物浓硫酸浓度安稳在8mg/L有以下 关键因素机 例如:pH手动控制系统性、斜管沉定池、板框板框压滤机(工业废水缺水)。 结果是的效果 工程作业三年期数据库统计数据库凸显: 氟化物最低值浓度值:7.2mg/L(降至国家地区条件) COD祛除率:92% 污水含水分率:≤65% 年回笼氟化钙副物料约150吨,体现物资化采取

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