该晶圆制造技术厂靠近华东各地各地,一般制造制造89英寸半导体芯片晶圆,平均污废水 排污量约800吨。主要是因为制造制造的过程 中运行很大盐酸做晶圆蚀刻,以至于污废水 中氟化物浓度值高达模型200-300mg/L,远超的国家排污要求(10mg/L以上)。
污废水 化学物质及主要来源
生活污水具体源于5个过程:
晶圆蚀刻流程
:含高氨水浓度氟化物(HF)、硝酸钠及大量高价属
生物学机械制造增加光泽(CMP)废液
:含纳米技术级硅粒状、有机会络合剂
设施家电清洗废液
:含异丙醇、高锰酸盐指数等设计物
整理技艺步骤流程
主要包括"物理滤渣+混泥土滤渣+长度滤过"三级视频正确处理体统:
五级解决
:加药氯化钙和氢硫化钙,出现氟化钙凝固,氟化物快速清理率达85%
中级治理
:调用PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),出掉电解质溶液态被污染物质
三级考试处理
:经由多有机溶剂过虑器和活力炭吸附剂,冒水氟化物浓硫酸浓度安稳在8mg/L有以下
关键因素机 例如:pH手动控制系统性、斜管沉定池、板框板框压滤机(工业废水缺水)。
结果是的效果
工程作业三年期数据库统计数据库凸显:
氟化物最低值浓度值:7.2mg/L(降至国家地区条件)
COD祛除率:92%
污水含水分率:≤65%
年回笼氟化钙副物料约150吨,体现物资化采取